Tozalash xonasi ma'lum bir oraliq oraliqdagi havoda zararli moddalar, zararli havo, bakteriyalar va boshqa ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlashni va ichki makon temperaturasini, tozalashni, ichki bosimni, havo oqimi tezligini va havo oqimining taqsimlanishini, shovqinni va tebranishni va statik elektrni nazorat qilishni nazarda tutadi. . Muayyan talablar doirasi ichida maxsus mo'ljallangan xona beriladi. Ya'ni, tashqi havo sharoitlari qanchalik o'zgarmasin, xonaning ichki qismi har qanday tozalik, harorat, namlik va bosim kabi oldindan o'rnatilgan talablarni saqlab qolish xususiyatiga ega bo'lishi mumkin.
Toza xonaning asosiy funktsiyasi - mahsulotni yaxshi muhitda ishlab chiqarilishi va ishlab chiqarilishi uchun mahsulotning (masalan, silikon chiplari) tegishi mumkin bo'lgan atmosferaning tozaligi, harorati va namligini nazorat qilishdir. Bu joy toza xona deb ataladi. Xalqaro amaliyotga muvofiq, changsiz tozalash darajasi, odatda, kub kub metr havoning zarrachalar soniga nisbatan ko'paytiriladi. Boshqacha qilib aytadigan bo'lsak, changsiz deb atalmish chang emas, balki 100% emas, lekin juda oz miqdordagi birliklarda nazorat qilinadi. Albatta, bu standartdagi changning standart zarralari bizning umumiy changga nisbatan ancha kichik, ammo optik qurilish uchun, hatto biroz changning juda katta salbiy ta'siri bor, shuning uchun optik qurilish mahsulotlarini ishlab chiqarishda chang yo'q. muqarrar talab.
Diametri har bir kubometr uchun 0.3 mm dan kam bo'lgan nozik chang zarralarining miqdori 3500 tagdan past bo'lib, xalqaro chang bosimining standartiga A sinfiga erishiladi. Hozirgi vaqtda chip darajasida ishlab chiqarish va qayta ishlashga tatbiq etilgan changsiz standart A sinfidan ko'ra ko'proq chang talab qiladi. Bunday yuqori standartlar, asosan, ba'zi bir yuqori darajali chiplarni ishlab chiqarishda qo'llaniladi. 0.5uM va undan past bo'lgan nozik changning miqdori 1000 kub metrga teng bo'lib, sanoat 1K darajasida ham tanilgan.